真空ポンプ

真空ポンプの圧力範囲

 真空ポンプはその原理の違いから多くの種類がある。真空ポンプのタイプによって達 成できる真空度などが異なる。


 今回、電子顕微鏡用に達成したい10-3Paを達成するには大気圧から1Pa程 度までとそこから10-3Paまでの2段階に分けて2つのポンプを使用する必要が ある。


各真空ポンプの簡易説明

・アスピレータ
 水流を利用した真空ポンプ。ブフナーロートを引くときなどに使われる。

・油回転ポンプ
 オイルを用いた真空ポンプ。電子顕微鏡のあら引きポンプとして多く用いられている。 真空容器内に油の蒸気が流れ込む。

・ソープションポンプ
 気体分子を吸着(吸収)する物質を用いた真空ポンプ。冷却用の液体窒素などが必要。

・ドライポンプ
 油回転ポンプに対して油を用いていない真空ポンプの総称。

・ルーツポンプ
 メカニカルブースターポンプ。ロータを高速回転させる真空ポンプ。真空容器内に油 の蒸気が流れ込む。

・油拡散ポンプ
 油蒸気による気体分子の捕捉を利用した真空ポンプ。駆動部分がないため故障率が低い。 冷却水が必要。

・クライオポンプ
 低温で気体分子を液体化することを利用した真空ポンプ。液体ヘリウムなどが必要。

・ターボ分子ポンプ
 ファンを超高速回転させる真空ポンプ。

・ゲッターポンプ
 チタンが気体分子を吸着することを利用した真空ポンプ。冷却水などが必要。

・スパッタイオンポンプ
 気体分子をイオン化して吸着する真空ポンプ。


必要な真空ポンプ

 油や冷却水を用いるポンプは管理が煩雑なため、ドライポンプとターボモレキュラ ーポンプの2段構え構成が理想的。しかし騒音が大きくなる可能性あり。あら引き速 度を向上するためにルーツポンプを併用するのもいいかもしれない。


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