真空ポンプの圧力範囲
真空ポンプはその原理の違いから多くの種類がある。真空ポンプのタイプによって達 成できる真空度などが異なる。
今回、電子顕微鏡用に達成したい10-3Paを達成するには大気圧から1Pa程 度までとそこから10-3Paまでの2段階に分けて2つのポンプを使用する必要が ある。
各真空ポンプの簡易説明
・アスピレータ水流を利用した真空ポンプ。ブフナーロートを引くときなどに使われる。
・油回転ポンプ
オイルを用いた真空ポンプ。電子顕微鏡のあら引きポンプとして多く用いられている。 真空容器内に油の蒸気が流れ込む。
・ソープションポンプ
気体分子を吸着（吸収）する物質を用いた真空ポンプ。冷却用の液体窒素などが必要。
・ドライポンプ
油回転ポンプに対して油を用いていない真空ポンプの総称。
・ルーツポンプ
メカニカルブースターポンプ。ロータを高速回転させる真空ポンプ。真空容器内に油 の蒸気が流れ込む。
・油拡散ポンプ
油蒸気による気体分子の捕捉を利用した真空ポンプ。駆動部分がないため故障率が低い。 冷却水が必要。
・クライオポンプ
低温で気体分子を液体化することを利用した真空ポンプ。液体ヘリウムなどが必要。
・ターボ分子ポンプ
ファンを超高速回転させる真空ポンプ。
・ゲッターポンプ
チタンが気体分子を吸着することを利用した真空ポンプ。冷却水などが必要。
・スパッタイオンポンプ
気体分子をイオン化して吸着する真空ポンプ。